主要特点
蓝宝石基片CMP浆料采用我司自主合成生产的高纯纳米SiO2水溶胶作为磨料，具有生产自动化高，稳定性好的特点。CMP浆料生产过程中采用自动化配制，辅料的添加采用高精度流量计控制，全方位立体搅拌，两层折叠滤芯过滤，自动罐装包装的生产配制方法，因此产品金属杂志极少，易清洗，无毒无污染，使用中产品移除率高，损伤层小，平整度高，避免晶片出现划伤。HPHE/SPS-SH-1813型CMP浆料中加入了特有的抛光促进剂以及活性物质，能够在CMP过程中保证质量传输的一致性，提高抛光效率。
CMP工艺中通过配比优化，可在推荐参数范围内实现优异工艺效果，同时，该产品在抛光过程中具有非结晶特性，划伤少，可以循环使用等优点。
使用方法
HPHE/SPS-SH-1813型蓝宝石基片CMP浆料建议和去离子水的配比为1：1循环使用或1：2-3不循环，也可根据实际要求改变配比
